主权项 |
一种电子元件测试装置,包含测试部,该测试部在将受测电子元件装载于托架上之状态下,使上述受测电子元件和测试头之触点部作电子接触,进行上述受测电子元件之测试,其中,上述测试部具有:搬运装置,具有和上述托架接触之接触元件且使和上述托架接触之上述接触元件移动以在既定之方向搬运上述托架;及推压装置,将上述搬运装置搬运之上述托架及装载于该托架上之上述受测电子元件推向上述测试头那侧;在上述推压装置上,设有可移动空间,当上述推压装置推压上述托架及上述受测电子元件时,相对于上述推压装置为位于上述既定方向那侧之上述接触元件可沿着和上述既定方向相反之方向移动。如申请专利范围第1项之电子元件测试装置,其中,上述推压装置包含:推送件,和上述受测电子元件接触;配对板,支持上述推送件;及驱动装置,将平板元件推向上述配对板并使上述配对板接近及/或远离上述测试头;上述可移动空间至少设置于上述配对板和上述平板元件之间。如申请专利范围第1项之电子元件测试装置,其中,上述推压装置包含:推送件,和上述受测电子元件接触;配对板,支持上述推送件;及驱动装置,将平板元件推向上述配对板并使上述配对板接近及/或远离上述测试头;上述配对板在宽度方向变得比上述托架短;上述可移动空间至少设置于上述配对板之平面方向外侧。如申请专利范围第3项之电子元件测试装置,其中,上述可移动空间设置于上述配对板中相对于上述托架为内侧之侧壁面之侧面。如申请专利范围第1项之电子元件测试装置,其中,上述推压装置包含:推送件,和上述受测电子元件接触;配对板,支持上述推送件;及驱动装置,将平板元件推向上述配对板并使上述配对板接近及/或远离上述测试头;上述配对板在宽度方向变得比上述托架短;上述可移动空间至少设置于上述平板元件之平面方向外侧。如申请专利范围第5项之电子元件测试装置,其中,上述可移动空间至少设置于上述平板元件中相对于上述托架为内侧之侧壁面之侧面。如申请专利范围第1至6项中任一项之电子元件测试装置,其中,上述接触元件可后退至和上述托架不会相互干涉之位置。 |