| 主权项 |
一种基板热处理装置，其具备框体及加热气体供给机构，其中，上述框体于内底部上设置有对基板进行加热处理之基台，上述加热气体供给机构为了沿着上述框体之顶壁形成加热气体流，从外部将加热气体供给至上述框体内，该基板热处理装置之特征在于：上述加热气体供给机构包括加热机构，其对气体进行加热，产生上述加热气体；以及供给流路，其将经上述加热机构所加热的上述加热气体供给至框体内部；且上述供给流路之至少一部分设置于上述框体之隔离壁内部。如请求项1之基板热处理装置，其中上述框体形成为在上述隔离壁内部具有空间之多层壁构造，上述供给流路藉由上述隔离壁内部之空间而构成。如请求项1或2之基板热处理装置，其中上述供给流路配设为，经由上述基台之下方位置而向框体内部供给上述加热气体。如请求项1或2之基板热处理装置，其中上述框体之隔离壁中，形成上述供给流路之壁部中的框体内侧边之壁部系藉由导热性较该框体外侧之壁部高的材料所构成。如请求项1或2之基板热处理装置，其中上述加热机构配设于上述框体之下方或上方之任一者。如请求项1或2之基板热处理装置，其中上述加热机构配设于上述框体之隔离壁内部。如请求项1或2之基板热处理装置，其中上述加热气体供给机构进而包括喷嘴部件，该喷嘴部件在上述框体之顶部向特定方向延伸，并在其长度方向上并排有喷出上述加热气体之复数个喷出口；上述供给流路设置成将上述加热气体向上述喷嘴部件之至少长度方向之两端部分引导。如请求项1之基板热处理装置，其中上述供给流路包括吐出机构，该吐出机构将上述加热气体吐出到上述框体内之空间且被一体组装于上述框体之上述顶壁或侧壁；上述框体具有引导机构，该引导机构使从上述吐出机构吐出之加热气体沿着上述顶壁流动。如请求项8之基板热处理装置，其中上述吐出机构在上述顶壁或侧壁之壁面上具有吐出口。如请求项9之基板热处理装置，其中上述吐出口设置于上述框体之顶壁面，上述引导机构具有与上述吐出口相对向且与上述顶壁大致平行之引导面。如请求项9记载之基板热处理装置，其中上述吐出口设置于上述框体之侧壁，上述引导机构系包含形成于上述框体内侧面上之沟槽部，上述吐出口形成于上述沟槽部之底面。如请求项9之基板热处理装置，其中上述吐出口于特定方向上复数个并排设置，上述吐出机构包括均匀化机构，该均匀化机构使各吐出口的加热空气之吐出量均匀化。一种喷嘴部件，其具备长且中空之喷嘴本体，该喷嘴本体具有将作为热媒体之流体导入至内部之导入口、以及周面之一部分设于长度方向上之喷出口，该喷嘴部件之特征在于：设置有导热促进部件，该导热促进部件遍及长度方向而配置于上述喷嘴本体之内部，为了促进上述长度方向之导热，该导热促进部件由导热性较上述喷嘴本体高之材料所构成。如请求项13之喷嘴部件，其中上述导热促进部件系在上述周面之适当部位，于长度方向上设有开口部之筒体，上述流体经由上述导入口而被导入至该筒体内。如请求项14之喷嘴部件，其中上述导热促进部件具有剖面多角形状，并以其周面中之一面载置于上述喷嘴本体之内底面。如请求项15之喷嘴部件，其中上述喷嘴本体在与上述导热促进部件之间具有间隙，且具有限制上述导热促进部件沿着内底面移位之限制部。如请求项14~16中任一项之喷嘴部件，其中上述导热促进部件相对于上述喷嘴本体内部之上表面而隔开。一种基板热处理装置，其具备框体及喷嘴部件，其中，上述框体于底部侧设置有对基板进行加热处理之基台，上述喷嘴部件喷出加热气体，且该基板热处理装置一边藉由从上述喷嘴部件喷出之加热气体形成沿着上述框体之顶壁的加热气体流，一边进行上述加热处理，该基板热处理装置的特征在于，具备请求项13之喷嘴部件作为上述喷嘴部件。 |
