玻璃基板层叠装置及层叠玻璃基板的制造方法

摘要

本发明涉及一种玻璃基板层叠装置，该玻璃基板层叠装置用于层叠2张玻璃基板，具备：构成为吸附支承上方的玻璃基板的上方基板支承单元；构成为载置支承下方的玻璃基板的下方基板支承单元；构成为使包含所述上方基板支承单元和所述下方基板支承单元之间的空间为气密状态的密封单元；及构成为对由所述上方基板支承单元、所述下方基板支承单元及所述密封单元包围的所述空间内进行减压的减压单元，所述上方基板支承单元的下表面具有下述(A)、(B)及(C)中的任一种形状的基板吸附单元：(A)矩形框形状的基板吸附单元；(B)由矩形框和将构成该矩形的4条边中的相对的1组或2组边分别连接的直线或曲线构成的形状的基板吸附单元；及(C)由彼此交叉的多条直线或曲线构成的形状的基板吸附单元。

主权项

一种玻璃基板层叠装置，用于层叠两张玻璃基板，具备：构成为吸附支承上方的玻璃基板的上方基板支承单元；构成为载置支承下方的玻璃基板的下方基板支承单元；构成为使包含所述上方基板支承单元和所述下方基板支承单元之间的空间为气密状态的密封单元；及构成为对由所述上方基板支承单元、所述下方基板支承单元及所述密封单元包围的所述空间内进行减压的减压单元，所述上方基板支承单元的下表面具有下述(A)、(B)及(C)中的任一种形状的基板吸附单元：(A)矩形框形状的基板吸附单元；(B)由矩形框和将构成该矩形的四条边中的相对的1组或2组边分别连接的直线或曲线构成的形状的基板吸附单元；(C)由彼此交叉的多条直线或曲线构成的形状的基板吸附单元。