转移基板的设备和方法

摘要

本发明公开一种转移基板的设备和方法。该基板转移设备设有能够从容器内取出晶片的多个叶片。当从该容器取出所述基板时，取出元件在形成在叶片中的连接孔内升起，通过从叶片的连接孔升起取出元件并使其突出而取出晶片。该取出元件形成为在其内限定空腔的中空形状，并通过向其中供应气体被选择性地升起。可选择地，该取出元件可旋转地与该叶片连接，并且当枢转该取出元件以从该叶片突出时取出晶片。这里，取出元件包括旋转轴，并且当将张力施加在绕旋转轴缠绕的线上时枢转。通过由控制器选择性地操作的驱动器使缠绕的线旋转。

主权项

一种从容器内取出基板并转移所述基板的设备，所述设备包括：多个叶片，在转移中所述基板分别置于所述多个叶片上；多个取出元件，每一个取出元件安装在所述叶片的每一个端部，并在从所述容器取出所述基板时从所述叶片向上突出，而在将所述叶片移进所述容器时未从所述叶片突出；以及驱动单元，用于选择性地使所述取出元件从所述叶片突出。