发明名称 Vacuum Evaporator
摘要
申请公布号 EP1496136(B1) 申请公布日期 2011.09.21
申请号 EP20040015915 申请日期 2004.07.06
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) 发明人 SHIMOJIMA KATUHIKO;FUJII, HIROFUMI;KAWAGUCHI, HIROSHI
分类号 C23C14/24;C23C14/56;C23C14/50;H01J37/32 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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