高温板材搬运系统和方法

摘要

本发明提供了向至少一个伯努利卡盘供应受控气体的方法和装置，用于为材料板提供平衡的牵拉和推斥气流；以及以下至少一条：升高供应给所述至少一个伯努利卡盘的气体的温度，从而在升高的温度下向材料板提供气流；向绝缘基板提供气流，促使剥离层与给体半导体晶片分离；以及向所述绝缘基板与任何支承结构的连接处提供气流，促使所述绝缘基板与所述支承结构分离。

主权项

一种材料板搬运装置，其包括：至少一个伯努利卡盘，通过其操作，可对于受控气体供应进行响应，为材料板提供平衡的牵拉和推斥气流；气体温度调节器，其与所述至少一个伯努利卡盘相连接，从而在提供所述气流之前，在与材料板温度基本上匹配的升高的温度下向所述卡盘供应气体。