滤光器及其制造方法、分析设备以及光设备

摘要

本发明涉及滤光器及其制造方法、分析设备以及光设备。本发明的滤光器具有对置的第1、第2基板、在第1、第2基板上设置的第1、第2反射膜、在第1、第2基板上设置的第1、第2接合膜、以及在第1、第2反射膜的表面形成的第1、第2阻隔膜，第1阻隔膜的臭氧或紫外线的透射率比第1反射膜低，第2阻隔膜的臭氧或紫外线的透射率比第2反射膜低，在制造或实际使用滤光器时，保护反射膜免受臭氧或紫外线的影响，不会使滤光器特性变差。

主权项

一种滤光器的制造方法，其特征在于，具有如下工序：在第1基板上形成第1接合膜的工序，所述第1基板形成有反射光并能透射特定波长的光的第1反射膜，在第2基板上形成第2接合膜的工序，所述第2基板形成有反射光并能透射特定波长的光的第2反射膜，形成第1阻隔膜的工序，所述第1阻隔膜覆盖所述第1基板的所述第1反射膜的表面而保护所述第1反射膜，形成第2阻隔膜的工序，所述第2阻隔膜覆盖所述第2基板的所述第2反射膜的表面而保护所述第2反射膜，利用臭氧或紫外线对所述第1、第2接合膜分别赋予活化能的工序，以及接合已活化的所述第1、第2接合膜而将所述第1、第2基板黏在一起的工序，所述第1阻隔膜在对所述第1接合膜赋予活化能之前形成，所述第2阻隔膜在对所述第2接合膜赋予活化能之前形成。