发明名称 |
旋转式芯片结合设备及其方法 |
摘要 |
本发明总体涉及一种旋转式芯片结合设备(102),该旋转式芯片结合设备(102)包括竖直运动线性致动器和旋转运动致动器,该旋转运动致动器具有多个拾取头(116),这些拾取头(116)用来将半导体芯片(122)从切割晶片转移到引线框架,以便进行芯片结合过程,其中所述多个拾取头(116)在到达其特定位置的同时执行其规定的任务,如拾取(126)、芯片结合(132)、检查(128)及其它,并且在每个任务完成时转动到另一个位置,以执行下一个规定的任务。 |
申请公布号 |
CN102194710A |
申请公布日期 |
2011.09.21 |
申请号 |
CN201010509628.6 |
申请日期 |
2010.09.29 |
申请人 |
沈亚容 |
发明人 |
沈亚容 |
分类号 |
H01L21/50(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
蒋旭荣 |
主权项 |
一种旋转式半导体芯片结合设备(102),该旋转式半导体芯片结合设备包括多个拾取头(116),其特征在于其还包括:直接驱动的旋转马达分度器(118);旋转盘(120);所述多个拾取头(116)附接到所述旋转盘(120)的圆周上;所述多个拾取头(116)布置成离所述旋转盘(120)的中心点的距离相同。 |
地址 |
马来西亚槟榔屿 |