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发明名称 A LITHOGRAPHIC APPARATUS, AN ILLUMINATION SYSTEM, A PROJECTION SYSTEM AND A METHOD OF MANUFACTURING A DEVICE USING A LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2006243(A) 申请公布日期 2011.09.20
申请号 NL20112006243 申请日期 2011.02.18
申请人 ASML NETHERLANDS B.V.;ASML HOLDING N.V. 发明人 NET, ANTONIUS;BOXTEL, FRANK;PAARHUIS, BART;LI, JINGGAO;GOSEN, JEROEN
分类号 G03F7/20;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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