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发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING POLY SILICON
摘要
申请公布号
KR101064657(B1)
申请公布日期
2011.09.15
申请号
KR20100020628
申请日期
2010.03.09
申请人
LG SILTRON INCORPORATED
发明人
LEE, SEUNG WOOK
分类号
H01L21/66;B01J27/12;B01J27/25;G01N31/00
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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