Verfahren zur Herstellung einer Graphennanostruktur

摘要

Verfahren zur Herstellung einer Graphennanostruktur, welches die folgenden Schritte umfasst: Ausbilden einer Oxidnanostruktur auf einer Graphenschicht, Ausrichten der Oxidnanostruktur auf der Graphenschicht in eine vorbestimmte Richtung, Durchführen eines anisotropen Ätzens unter Verwendung der ausgerichteten Oxidnanostruktur als eine Maske, und Entfernen der nach dem anisotropen Ätzen verbleibenden Oxidnanostruktur.