发明名称 VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER SCHICHT DURCH KALTGASSPRITZEN
摘要
申请公布号 AT521731(T) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 AT20090725646T 申请日期 2009.03.25
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DOYE, CHRISTIAN;KRUEGER, URSUS;PYRITZ, UWE
分类号 C23C24/04 主分类号 C23C24/04
代理机构 代理人
主权项
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