包含形成在同一基板上且具有各自不同磁化方向的磁性结构的一装置的制造

摘要

本发明涉及一种用于制造包含置于一基板上且在不同方向上被磁化的磁性块(111、112、113)的一装置的方法，所述方法包含以下步骤：a)在置于一基板上的由至少一种反铁磁性材料构成的一个或多个层体(1041，1042，1043)及由至少一种铁磁性材料构成的一个或多个层体(1051，1052)的一堆叠(108)中形成至少一个第一块体及至少一个第二块体，块体为长型且是分开的并且分别沿着一第一主要方向及一第二主要方向延伸，第一主要方向及第二主要方向之间形成一第一非零角度α；b)在大于反铁磁性材料的有序化温度或大于所述反铁磁性材料的阻隔温度或尼尔温度的一温度下对块体进行退火。

主权项

一种用于制造包含置于一基板上且以不同方向被磁化的磁性块(111、112、113、211a、211b、211c、212a、212b、212c、213a、213b、213c)的一装置的方法，所述方法包含以下步骤：a)在置于一基板上的由反铁磁性材料构成的一个或多个层体(1041，1042，1043)及由铁磁性材料构成的一个或多个层体(1051，1052)的一堆叠(108)中形成至少一个第一块体及至少一个第二块体的一步骤，所述块体是分开的，所述第一块体及所述第二块体为长型且分别沿着一第一主要方向及一第二主要方向延伸，所述第一主要方向及所述第二主要方向之间形成一第一非零角度α；b)在高于所述反铁磁性材料的有序化温度或阻隔温度或尼尔温度的一温度下对所述块体进行退火的一步骤，此退火步骤还包含在此退火期间施加以与所述第一主要方向及所述第二主要方向形成有一第二非零角度θ的方向且强度在退火期间变化的一磁场，因此在施加磁场期间：‑首先，施加特定强度的一磁场，其强度大于所述块体沿着它们的难磁化轴的饱和磁场HW的强度，‑接着，降低所述特定强度，使得所述磁场在所述第一主要方向上的投影及所述磁场在所述第二主要方向的投影的各自的模数大于所述块体沿着它们的易磁化轴的一饱和场值HL，且所述磁场垂直于所述第一主要方向的投影及所述磁场垂直于所述第二主要方向的投影的各自的模数小于所述块体沿着它们的难磁化轴的一饱和场值Hw。