肟酯化合物和含有该化合物的光聚合引发剂

摘要

本发明的肟酯化合物的特征在于由下述通式(I)表示，且适合用作光聚合引发剂。本发明的肟酯化合物的感度高，而且热分解温度高且不损害感光性组合物的附着性、耐碱性，另外，通过光照射产生的分解物不会附着在掩膜上。(式中，X表示烷基等，m是2以上时，多个X可以是分别不同的基团，R1、R2和R3表示烷基等，这些烷基等可以被卤原子等取代，这些烷基等的亚烷基部分可以插入不饱和键、醚键等。A表示环烷基烷基，m表示1～4的正数。)

主权项

1.一种由下述通式(I)表示的肟酯化合物，式中，X表示氢原子、烷基或三氟甲基，m是1，R₁为烷基或芳基，R₂为烷基，R₃为烷基，A表示环烷基烷基。