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发明名称 WAFER SUPPORT APPARATUS INSTALLED ON WIRE SAW
摘要
申请公布号 KR101064268(B1) 申请公布日期 2011.09.14
申请号 KR20110031076 申请日期 2011.04.05
申请人 KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY 发明人 KIM, HYUNG JAE;JO, HYUNG HO;KIM, SUNG RYUL;LEE, YOUNG CHUL;LEE, SANG JIK
分类号 B28D7/04;B28D5/04;H01L21/683 主分类号 B28D7/04
代理机构 代理人
主权项
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