过滤器组件

摘要

一种用于添加制造设备的过滤器组件，其具有限定有气体输入口和气体输出口的外壳。过滤器元件定位在外壳内，并位于气体输入口与气体输出口之间。该组件包括可以被致动以密封气体输入口和气体输出口的阀。另外，该组件具有用于允许流体进入到外壳内的流体输入口。该组件允许安全地更换可能包含挥发性颗粒的过滤器元件。通过密封气体输入口和输出口并以合适的流体灌注外壳，可以中和由过滤器捕获的挥发性颗粒。

主权项

一种用于添加制造设备的过滤器组件，所述过滤器组件包括：过滤器外壳，所述过滤器外壳具有气体输入口和气体输出口，过滤器元件以可移除的方式定位在所述外壳内，并位于所述气体输入口与所述气体输出口之间；可致动以密封所述气体输入口的阀；可致动以密封所述气体输出口的阀；以及流体输入口，所述流体输入口用于允许流体进入到所述外壳内。