发明名称 |
腔式石墨舟 |
摘要 |
本发明涉及一种腔式石墨舟,包括舟片、位于石墨舟左右两端的左、右电极,舟片包括与左电极导电连接的左电极片以及与右电极导电连接的右电极片。本发明通过将石墨舟的两电极设置在石墨舟的左右两端,改变现有的石墨舟的电极结构,各舟片相应分为与左电极连接的左电极片以及与右电极连接的右电极片,使得石墨舟工作时反应速度快,镀膜时间短,而且石墨舟的舟片数可以增加至21到41片,同时还在石墨舟的石墨隔块上设置用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱,使得石墨舟更加智能化;另外石墨舟的支撑脚可以固定在运转小车上,提高了石墨舟的使用安全性,因此,本发明不仅结构新颖,安全可靠,而且极大的提高了生产效率。 |
申请公布号 |
CN102181846A |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN201110082405.0 |
申请日期 |
2011.04.01 |
申请人 |
石金精密科技(深圳)有限公司 |
发明人 |
张志勇 |
分类号 |
C23C16/458(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 |
代理人 |
胡海国 |
主权项 |
一种腔式石墨舟,包括舟片,其特征在于,还包括:位于所述石墨舟左右两端的左、右电极,所述舟片包括与所述左电极导电连接的左电极片以及与所述右电极导电连接的右电极片。 |
地址 |
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道办沙头茭塘工业区第三排第一栋一至二层 |