| 发明名称 |
Predictive failure scheme for industrial power delivery system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1816670(B1) |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
| 申请号 |
EP20070010419 |
申请日期 |
2002.01.21 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
NASMAN, KEVIN P.;RADOMSKI, AARON T. |
| 分类号 |
H01J37/32;H02J13/00;G05B23/02;H02H1/00;H02H3/04;H02J3/00 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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