准分子灯及准分子灯的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种准分子灯的制造方法及能够高水准地维持发光管的紫外光透过率的准分子灯，上述准分子灯的制造方法能够使准分子灯不会因发光管构成材料附着于发光管内表面而降低发光管的紫外光透过率。本发明的准分子灯，在填充有放电用气体的由电解质构成的发光管的外表面，夹着发光管的管壁而相对地设置有一对外部电极，其特征在于，在发光管的内部，包括气体导入部和凸缘部的密封部件的凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的管壁，从而形成由密封部件和发光管的管壁隔开的气密空间，气体导入部的一端被密封而另一端开口，且一端向发光管的管轴方向的外端延伸，凸缘部与气体导入部连续而向气体导入部的直径方向扩展。

主权项

一种准分子灯，在填充有放电用气体的由电介质构成的发光管的外表面，夹着发光管的管壁而相对地设置有一对外部电极，其特征在于，在上述发光管的内部配置有密封部件，该密封部件具有发光管的管轴方向的外端面侧的端部被密封的气体导入部；以及向一体形成的气体导入部的直径方向扩展的凸缘部，密封部件的凸缘部相比发光管的外端面位于内侧，凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的内壁，形成由密封部件和发光管的管壁隔开的气密空间，在气体导入部的内表面形成有保护膜，该保护膜由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子形成。