发明名称 |
鉴幅传感器及射频传输系统及其对负载阻抗进行鉴幅的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种鉴幅传感器及射频传输系统及其对负载阻抗进行鉴幅的方法,射频传输系统的射频主传输线上连接有鉴幅传感器,鉴幅传感器的电压信号采集单元和电流信号采集单元分别采集射频主传输线的电压信号和电流信号,然后由模拟乘法器接收电压信号和电流信号,并对接受到的信号进行运算,并将运算后的信号输入给控制器,控制器对接收到信号进行运算得到负载阻抗的幅值,实现射频传输系统的负载阻抗进行鉴幅。性能精度高、可靠性高。 |
申请公布号 |
CN101420815B |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN200710176232.2 |
申请日期 |
2007.10.23 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
张文雯;王东;申浩南 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 |
代理人 |
赵镇勇 |
主权项 |
1.一种射频传输系统,包括射频主传输线,其特征在于,所述的射频主传输线上连接有鉴幅传感器;所述鉴幅传感器包括信号采集单元,所述的信号采集单元包括电压信号采集单元和电流信号采集单元,所述电压信号采集单元和电流信号采集单元的输出端分别连接有模拟乘法器,所述的模拟乘法器能接收交流电压信号或交流电流信号,所述的模拟乘法器的输出表达式为:公式1:<img file="FSB00000435956900011.GIF" wi="645" he="115" />式中:X1、X2、Y1、Y2、Z2为输入变量;所述的模拟乘法器的输出端连接有低通滤波器;所述鉴幅传感器的电压信号采集单元和电流信号采集单元分别与所述射频主传输线耦合,所述鉴幅传感器的输出端连接有控制器;所述控制器根据所述鉴幅传感器传来的信号计算所述射频传输系统的负载阻抗的幅值,所述控制器的计算表达式为:公式2:<img file="FSB00000435956900012.GIF" wi="322" he="104" />式中:k为常量;A0和A1分别为所述交流电压信号和交流电流信号经所述鉴幅传感器处理后的输出信号。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 |