发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 一种半导体器件,包括:具有表面的板状传感器元件(10),其包括设置在该传感器元件(10)的表面部分中的传感器结构(15到17);以及结合到传感器元件(10)的表面的板状帽元件(20)。所述帽元件(20)具有面对传感器元件(10)的布线图案部分(23到25)。所述布线图案部分(23到25)连接传感器元件(10)的表面的外侧边缘和传感器结构(15到17),从而使传感器结构(15到17)通过所述外侧边缘与外部元件电耦合。所述传感器元件(10)不具有复杂的多层结构,从而简化了传感器元件(10)。此外,还减小了器件的尺寸。
申请公布号 CN102180436A 申请公布日期 2011.09.14
申请号 CN201110058290.1 申请日期 2008.07.01
申请人 株式会社电装 发明人 藤井哲夫;杉浦和彦
分类号 B81B7/00(2006.01)I;G01P15/125(2006.01)I;G01P3/44(2006.01)I 主分类号 B81B7/00(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 邬少俊;王英
主权项 一种半导体器件,包括:具有表面的板状传感器元件(10),其包括设置在该传感器元件(10)的表面部分中的传感器结构(15到17)、围绕所述传感器结构(15到17)的外围部分(19);以及结合到所述传感器元件(10)的所述表面的板状帽元件(20),其中:所述帽元件(20)具有面对所述传感器元件(10)的布线图案部分(23到25);所述布线图案部分(23到25)包括:形成在所述帽元件(20)与传感器部分(10)相对的表面上的第一布线层(23);设置在所述第一布线层(23)上的第一绝缘膜(24);以及包括布线部分(25a)和密封部分(25b)的第二布线层(25),所述布线部分(25a)设置于从所述第一绝缘膜(24)露出的所述第一布线层(23)上,所述密封部分(25b)具有环状并且面对所述外围部分(19);将所述密封部分(25b)设置在所述第一绝缘膜(24)上,从而使所述密封部分(25b)与所述第一布线层(23)电绝缘;将所述密封部分(25b)结合到所述外围部分(19),从而将所述传感器结构(15到17)密封和容纳在由所述帽元件(20)和所述传感器元件(10)限定的空间中;所述布线部分(25a)与所述传感器结构(15到17)耦合;并且所述布线部分(25a)还从所述空间中露出,从而使所述传感器结构(15到17)与所述外部元件耦合。
地址 日本爱知县