表面修饰用方法和设备

摘要

本发明涉及以基于碳的耐磨层被覆基体的方法，所述方法包括下述步骤：i)提供包含对碳具有亲和性的材料的基体，ii)清理基体表面，iii)在所述表面上沉积含有金属的层，iv)离子轰击经被覆的表面，v)在所述表面上沉积碳层。此外，本发明还涉及在其表面上具有类金刚石碳被覆层的基体，和用于实施本发明的方法的设备。

主权项

一种以类金刚石层被覆基体的设备，所述设备包括多个装置，即：i)金属过滤电弧离子源ii)碳离子脉冲式过滤或非过滤电弧源，或者激光烧蚀碳源iii)低于300V的低能考夫曼型离子枪iv)红外加热装置v)冷却装置其中，每个单独的装置都被逐一串联布置在独立的真空室中，使得低于300V的低能考夫曼型离子枪经调整适于在通过所述金属过滤电弧离子源沉积金属层之后且在通过源ii)沉积碳层之前离子轰击所述基体。