质量流量控制器及其操作方法

摘要

本发明的一个实施例涉及一种热传感器及其使用方法。一种热传感器适于输出不受外部纵向热梯度和正交热梯度的影响的信号。在一个实施例中，所述质量流量控制器热传感器包括具有上游管部分、管弯曲部分和下游管部分的毛细管，所述下游部分基本上与所述上游部分平行。在一个实施例中，所述上游管部分和所述下游管部分之间的距离不大于所述上游部分和下游部分长度的一半，第一对热感测元件耦合到所述上游管部分并且第二对热感测元件耦合到所述下游管部分。

主权项

一种质量流量控制器热传感器，包括：具有上游管部分、管弯曲部分和下游管部分的毛细管，其中，所述上游管部分包括上游部分长度，所述下游管部分包括下游部分长度，所述下游部分长度基本上与所述上游部分长度相等并且所述下游管部分基本上与所述上游部分平行，所述上游管部分和所述下游管部分之间的距离不大于所述上游部分和下游部分长度的一半；耦合到所述上游管部分的第一对热感测元件；以及耦合到所述下游管部分的第二对感测元件，所述第二对感测元件通常与所述第一对感测元件相对。