发明名称 洗净装置、洗净方法、预备吐出装置、及涂布装置
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.09.11
申请号 TW097124248 申请日期 2008.06.27
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 升芳明;宫本英典;吉泽健司;山口和伸
分类号 B05C9/10;B05C21/00;H01L21/027;G03F7/16 主分类号 B05C9/10
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种洗净装置,是将在涂布装置的预备吐出动作所使用的预备吐出装置的预备吐出面予以洗净的装置,其特征为:具有:在涂布有液状体的上述预备吐出面上滑动来刮除上述液状体的刮板,上述刮板,系被支承于:使其与上述预备吐出面的接触端的长度方向相对于上述滑动方向成斜向的姿势。如申请专利范围第1项的洗净装置,其中上述接触端的长度方向与上述滑动方向的交叉角度为85°以下。如申请专利范围第1项的洗净装置,其中具备有复数的上述刮板。如申请专利范围第3项的洗净装置,其中将复数的上述刮板以互相大致平行的姿势排列于上述滑动方向。如申请专利范围第1项的洗净装置,其中具备有洗净液供给部,该洗净液供给部,具有:将洗净液吐出到上述刮板的上述滑动方向的前方的吐出口。如申请专利范围第5项的洗净装置,其中具备有复数的上述刮板,在该复数的上述刮板之中除了至少位于上述滑动方向最末尾的上述刮板之外,对应于其他的上述刮板设置有上述吐出口。如申请专利范围第3项的洗净装置,其中复数的上述刮板相对于上述预备吐出面的倾斜角度为大致相同。如申请专利范围第7项的洗净装置,其中复数的上述刮板之中,位于上述滑动方向最前头的上述刮板的上述倾斜角度,是大于其他上述刮板的上述倾斜角度。如申请专利范围第1项的洗净装置,其中具备有:朝向上述预备吐出面喷出气体的乾燥机构。如申请专利范围第1项的洗净装置,其中具备有:将残留于上述预备吐出面的液状体予以吸引的吸引机构。如申请专利范围第1项的洗净装置,其中具备有:支承上述刮板的刮板头部、及支承刮板头部的臂部,在上述臂部,设置有:可自由摆动地将上述刮板头部予以支承的摆动机构。一种预备吐出装置,其特征为:具备有:在涂布装置的预备吐出动作中涂布液状体的预备吐出面、将滑动于上述预备吐出面上刮除上述液状体的刮板,支承于使其与上述预备吐出面的接触端的长度方向相对于上述滑动方向成斜向的姿势的洗净装置、以及将藉由上述刮板的滑动动作而朝向位于上述预备吐出面的长度方向的侧方流出的上述液状体予以排出的排出部。如申请专利范围第12项的预备吐出装置,其中上述排出部,具有:设置在上述预备吐出面的侧方,朝上述滑动方向延伸的侧沟部。一种预备吐出装置,其特征为:具备有:在涂布装置的预备吐出动作中涂布液状体的预备吐出面、将滑动于上述预备吐出面上刮除上述液状体的刮板,支承于使其与上述预备吐出面的接触端的长度方向相对于上述滑动方向成斜向的姿势的洗净装置、以及藉由上述刮板的滑动动作将移动到上述刮板的前方的上述液状体予以排出的排出部。如申请专利范围第12项的预备吐出装置,其中在上述排出部,设置有:吸引上述液状体的吸引回收机构。如申请专利范围第15项的预备吐出装置,其中设置有:与上述吸引回收机构连接的吸引口、及朝向上述吸引口下降的倾斜面。如申请专利范围第16项的预备吐出装置,其中在上述预备吐出面的侧方处设置的上述排出部,沿着上述滑动方向排列有复数个区域,该复数个区域具有:上述吸引口、以及与上述吸引口对应的上述倾斜面。如申请专利范围第12项的预备吐出装置,其中在上述预备吐出面的侧方,设置有:载置上述洗净装置的待机部。如申请专利范围第18项的预备吐出装置,其中上述待机部,相对于上述预备吐出面设置在上述滑动方向的后方。如申请专利范围第18项的预备吐出装置,其中上述待机部,具有:设置在较上述预备吐出面更低的位置,来载置上述洗净装置的载置面。如申请专利范围第18项的预备吐出装置,其中在上述待机部,设置有:将附着于上述刮板的上述液状体予以去除的刮板清扫机构。如申请专利范围第21项的预备吐出装置,其中上述刮板清扫机构,是形成于上述载置面的凹凸构造。一种涂布装置,其特征为:是具备有申请专利范围第12~22项的其中任一项的预备吐出装置。一种洗净方法,是涂布装置的预备吐出动作所使用的将预备吐出装置的预备吐出面予以洗净的方法,其特征为:当在上述预备吐出面上使刮板滑动,来将涂布在上述预备吐出面上的液状体予以刮除时,让上述刮板以,使其与上述预备吐出面的接触端的长度方向相对于上述滑动方向成斜向的姿势来滑动。如申请专利范围第24项的洗净方法,其中上述接触端的长度方向与上述滑动方向的交叉角度为85°以下。如申请专利范围第24项的洗净方法,其中使复数的上述刮板滑动在上述预备吐出面上。如申请专利范围第26项的洗净方法,其中使复数的上述刮板以互相大致平行的姿势排列于上述滑动方向的状态来滑动。如申请专利范围第24项的洗净方法,其中将洗净液吐出于上述刮板的上述滑动方向的前方。如申请专利范围第28项的洗净方法,其中在复数的上述刮板之中,除了至少位于上述滑动方向最末尾的上述刮板之外,将上述洗净液吐出于其他的上述刮板的上述滑动方向前方。如申请专利范围第24项的洗净方法,其中对上述刮板通过后的上述预备吐出面喷射气体。如申请专利范围第24项的洗净方法,其中将上述刮板通过后的上述预备吐出面上残留的上述液状体予以吸引。一种预备吐出方法,是在涂布装置的涂布动作之前进行的预备吐出方法,其特征为:具有:对预备吐出面涂布液状体的制程、以及在上述预备吐出面上使刮板滑动来刮除上述液状体的制程,在使上述刮板滑动的制程,让上述刮板以,使其与上述预备吐出面的接触端的长度方向相对于上述滑动方向成斜向的姿势来滑动,将上述预备吐出面上的上述液状体排出到上述预备吐出面的长度方向的侧方。一种预备吐出方法,是在涂布装置的涂布动作之前进行的预备吐出方法,其特征为:具有:对预备吐出面涂布液状体的制程、以及在上述预备吐出面上使刮板滑动来刮除上述液状体的制程,在使上述刮板滑动的制程,让上述刮板以,使其与上述预备吐出面的接触端的长度方向相对于上述滑动方向成斜向的姿势来滑动,将藉由上述刮板回收的上述液状体排出到上述预备吐出面的上述滑动方向前方。如申请专利范围第32或33项的预备吐出方法,其中在使上述刮板滑动的制程之后,使上述刮板移动到在上述预备吐出面的侧方处设置的待机位置,在该待机位置将附着于上述刮板的上述液状体除去。一种洗净装置,是将在涂布装置的预备吐出动作所使用的预备吐出装置的预备吐出面予以洗净的装置,其特征为:具备有:在涂布有液状体的上述预备吐出面上滑动来刮除上述液状体的复数的刮板。如申请专利范围第35项的洗净装置,其中具备有:将洗净液吐出到上述预备吐出面的至少一个吐出口。如申请专利范围第36项的洗净装置,其中在上述刮板之中,除了滑动方向最末尾的上述刮板之外,对应于上述刮板设置有上述吐出口。如申请专利范围第36项的洗净装置,其中分别对应于至少两个上述刮板而设置有上述吐出口。如申请专利范围第35项的洗净装置,其中上述刮板配置成:相对于上述预备吐出面倾斜为15°以上50°以下。如申请专利范围第35项的洗净装置,其中具备有:朝向上述预备吐出面喷出气体的乾燥机构。如申请专利范围第35项的洗净装置,其中具备有:将残留于上述预备吐出面的液状体予以吸引的吸引机构。如申请专利范围第38项的洗净装置,其中设置有:将从上述各吐出口吐出的上述洗净液的吐出量进行控制的控制部,该控制部,可以将上述洗净液的吐出量控制为:上述吐出口之中,从滑动方向最前头的上述吐出口吐出的洗净液的量最多。如申请专利范围第38项的洗净装置,其中设置有:将从上述各吐出口吐出的上述洗净液的吐出量进行控制的控制部,该控制部,可以将上述洗净液的吐出量控制为:上述吐出口之中,从滑动方向最末尾的上述吐出口吐出的洗净液的量最少。如申请专利范围第38项的洗净装置,其中设置有:将从上述各吐出口吐出的上述洗净液的吐出量进行控制的控制部,该控制部,可以将上述洗净液的吐出量控制为:从滑动方向最前头的上述吐出口到最末尾的上述吐出口,让上述洗净液的吐出量渐渐减少。如申请专利范围第38项的洗净装置,其中设置有:将从上述各吐出口吐出的上述洗净液的吐出量进行控制的控制部,该控制部,将上述洗净液的吐出量控制为:从上述各吐出口吐出的洗净液的量相同。一种洗净方法,是将在涂布装置的预备吐出动作所使用的预备吐出装置的预备吐出面予以洗净的方法,其特征为:在上述预备吐出面上使复数的刮板朝其排列方向滑动来刮除上述液状体。如申请专利范围第46项的洗净方法,其中对于涂布有液状体的上述预备吐出面吐出洗净液。如申请专利范围第47项的洗净方法,其中在上述刮板之中,除了滑动方向最末尾的刮板之外,将上述洗净液供给到上述刮板的滑动方向前方。如申请专利范围第47项的洗净方法,其中将上述洗净液供给到至少两个上述刮板的各别的滑动方向前方。如申请专利范围第46项的洗净方法,其中具备有:朝向上述预备吐出面喷出气体的乾燥制程。如申请专利范围第46项的洗净方法,其中具备有:将残留于上述预备吐出面的上述液状体予以吸引的吸引制程。如申请专利范围第49项的洗净方法,其中各别地对应而被供给上述洗净液的复数的上述刮板之中,对于位在滑动方向最前头的上述刮板,使供给的上述洗净液的量最多。如申请专利范围第49项的洗净方法,其中各别地对应而被供给上述洗净液的复数的上述刮板之中,对于位在滑动方向最末尾的上述刮板,使供给的上述洗净液的量最少。如申请专利范围第49项的洗净方法,其中对于各别地对应而被供给上述洗净液的复数的上述刮板,越位在滑动方向最末尾的上述刮板,使供给的上述洗净液的供给量越少。如申请专利范围第49项的洗净方法,其中对于各别地对应而被供给上述洗净液的复数的上述刮板,上述洗净液的供给量相同。一种洗净装置,是将在涂布装置的预备吐出动作所使用的预备吐出装置的预备吐出面予以洗净的装置,其特征为:具有:在涂布有液状体的上述预备吐出面上滑动的刮板、以及对该刮板的滑动方向侧的面供给洗净液的洗净液供给部。如申请专利范围第56项的洗净装置,其中上述洗净液供给部,具有:对上述刮板吐出上述洗净液的复数的吐出口。如申请专利范围第57项的洗净装置,其中复数的上述吐出口,设置成:让从邻接的上述吐出口吐出而顺着上述刮板的面上的上述洗净液彼此,到达上述刮板的前端而一体化。如申请专利范围第57项的洗净装置,其中上述各吐出口是等间隔地排列。如申请专利范围第56项的洗净装置,其中具备复数的上述刮板。如申请专利范围第60项的洗净装置,其中上述洗净液供给部,是被构成为:在复数的上述刮板之中,除了至少位于滑动方向最末尾的上述刮板之外,来供给上述洗净液。如申请专利范围第60项的洗净装置,其中对应于各别的上述刮板设置复数的上述吐出口,对应于滑动方向最前头的上述刮板之上述吐出口的数量,是比对应于滑动方向后方的上述刮板之上述吐出口的数量还多。一种洗净方法,是将在涂布装置的预备吐出动作所使用的预备吐出装置的预备吐出面予以洗净的方法,其特征为:一面将洗净液供给到:于涂布有液状体的大致平面的上述预备吐出面进行滑动的刮板的上述滑动方向侧的面,且一面藉由上述刮板,将上述洗净液与上述液状体一同予以刮除。如申请专利范围第63项的洗净方法,其中是将上述洗净液供给到上述刮板的上述面上的复数处所。如申请专利范围第64项的洗净方法,其中在上述刮板的上述面上,将上述洗净液供给成:在至少邻接的位置供给而顺着上述面上的上述洗净液,到达上述刮板的前端而一体化。如申请专利范围第63项的洗净方法,其中当使用复数的上述刮板,并且将复数的上述刮板滑动于其排列方向来洗净上述预备吐出面时,对除了至少位于滑动方向最末尾的上述刮板之外的其他上述刮板,来供给上述洗净液。如申请专利范围第63项的洗净方法,其中当使用复数的上述刮板,并且将复数的上述刮板滑动于其排列方向来洗净上述预备吐出面时,使上述洗净液对于位于滑动方向最前头的上述刮板的供给量,较多于上述洗净液对于其他上述刮板的供给量。一种预备吐出装置,其特征为:具备有申请专利范围第1~11、35~45、及56~62的其中任一项所述的洗净装置。一种涂布装置,其特征为:具备有申请专利范围第68项所述的预备吐出装置。
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