发明名称 WAFER POLISHING HEAD AND WAFER POLISHING APPARATUS INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20110099454(A) 申请公布日期 2011.09.08
申请号 KR20100018486 申请日期 2010.03.02
申请人 LG SILTRON INCORPORATED 发明人 PARK, KI DONG;CHO, HEE DON;MOON, DO MIN
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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