Torsionsfederelement für die Aufhängung auslenkbarer mikromechanischer Elemente

摘要

Torsionsfederelement mit nicht linearer Federkennlinie für die Aufhängung auslenkbarer mikromechanischer Elemente, das an einer Aufhängung gehalten und mit einem mikromechanischen Element verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein mit einer Gabelung/Verzweigung verbundener Bereich durch einen sich verändernden Querschnitt ein sich in Längsachsrichtung veränderndes Widerstandsmoment aufweist und eine Gabelung/Verzweigung v- oder u-förmig ausgebildet ist.