发明名称 取样台装置
摘要 本实用新型提出一种取样台装置,包括:支架,包括水平支架台和垂直固定于水平支架台上的支架竖杆;取样台结构,包括连接水平杆和设置于连接水平杆一端的取样台;套锁结构,连接支架和取样台结构,其包括连接块和设置于连接块上的锁紧固件,所述连接块设有套接于支架竖杆上的竖直套孔和套接于连接水平杆另一端的水平套孔。所述取样台装置,通过竖直套孔和水平套孔的套锁结构任意调节取样台在竖直和水平方向上的位置,满足样品分析对高度的要求;通过规则排列的孔洞和护栏结构提高取样台的使用效率,降低操作中的安全隐患;通过溢出槽和回收结构方便回收试剂,保护环境。
申请公布号 CN201966175U 申请公布日期 2011.09.07
申请号 CN201020674416.9 申请日期 2010.12.21
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 谭玉荣
分类号 H01J49/04(2006.01)I 主分类号 H01J49/04(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种取样台装置,其特征在于,包括:支架,包括水平支架台和垂直固定于水平支架台上的支架竖杆;取样台结构,包括连接水平杆和设置于连接水平杆一端的取样台;套锁结构,连接支架和取样台结构,其包括连接块和设置于连接块上的锁紧固件,所述连接块设有套接于支架竖杆上的竖直套孔和套接于连接水平杆另一端的水平套孔。
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