谐振器长度的测量

摘要

本发明提供了一种方法和系统，其用于通过分析从反射谐振器发射出的电磁谱来测量反射谐振器的长度。该发射出的谱用于估计第一谐振腔长度。之后，通过首先计算关于谱的至少一个干涉数，依赖于谐振器的配置将该干涉数的值调节到例如整数或半整数，来改进该估算，并且之后使用干涉数的被调节的值来重新计算谐振器的长度。以上提供了一种有效的方法，该方法改进了在确定谐振器的物理特性时的准确度。

主权项

一种用于确定谐振器(1)的长度(L)的方法，包括：‑提供谐振器，该谐振器具有第一反射端面(4)和第二反射端面(5)；‑在波导中传送电磁辐射(λLs)，并且将所述辐射发射到所述谐振器中，其中所述辐射包括至少一个谐振波长；‑凭借所述辐射(λLs)在所述谐振器内部形成至少一个谐波；‑在波导中，将从所述谐振器发射出的所述辐射的谱(SR)传送到记录单元(700、800)；‑由所述记录单元记录所述发射出的谱(SR)，并且将所述被记录的谱提供给分析单元；‑在所述分析单元处使用所述被记录的谱来估算所述谐振器的长度的至少一个值(LEST)；‑在所述分析单元处，通过确定所述被记录的谱的最大点、最小点、或者拐点，选择所述谱的至少一个标记波长(λM)；‑基于所述谐振器的长度的所述至少一个值(LEST)与所述工作波长(λM)的比值的两倍(2*LEST/λM)，来计算被估算的干涉数(IEST)；‑将实际的干涉数(ICORR)确定为最靠近所述被估算的干涉数(IEST)的整数或半整数；‑基于所述实际的干涉数(ICORR)与所述工作波长(λM)的乘积(ICORR*λM)，计算所述谐振器的长度的第二个值(LCORR)。