发明名称 |
ZnGeP<sub>2</sub>晶体的腐蚀剂与腐蚀方法 |
摘要 |
一种ZnGeP2晶体的腐蚀剂,由冰醋酸、氢氟酸、硝酸、碘和纯净水配制而成,冰醋酸、氢氟酸、硝酸、纯净水的体积比为:冰醋酸∶氢氟酸∶硝酸∶纯净水=1∶2∶2∶1,碘的质量∶冰醋酸体积=4∶1。一种ZnGeP2晶体的腐蚀方法,使用上述腐蚀剂,工艺步骤依次为:(1)腐蚀,将ZnGeP2晶片浸入腐蚀剂中,在超声波振荡下于常压、室温腐蚀4~16分钟取出;(2)清洗,将从腐蚀剂中取出的ZnGeP2晶片浸入反应终止液中摆动清洗终止反应,再用纯净水清洗至中性,所述反应终止液由质量浓度5%的NaOH和质量浓度为3%的Na2S2O3配制而成,NaOH与Na2S2O3的体积比=1∶1;(3)干燥。 |
申请公布号 |
CN101613885B |
申请公布日期 |
2011.09.07 |
申请号 |
CN200910060126.7 |
申请日期 |
2009.07.28 |
申请人 |
四川大学 |
发明人 |
朱世富;赵北君;陈宝军;何知宇;张羽;程江 |
分类号 |
C30B33/10(2006.01)I;C30B29/10(2006.01)I |
主分类号 |
C30B33/10(2006.01)I |
代理机构 |
成都科海专利事务有限责任公司 51202 |
代理人 |
黄幼陵 |
主权项 |
一种ZnGeP2晶体的腐蚀剂,其特征在于由冰醋酸、氢氟酸、硝酸、碘和纯净水配制而成,冰醋酸、氢氟酸、硝酸、纯净水的体积比为:冰醋酸∶氢氟酸∶硝酸∶纯净水=1∶2∶2∶1,碘的质量∶冰醋酸体积=4∶1,碘的质量单位为毫克、冰醋酸的体积单位为毫升,或碘的质量单位为克、冰醋酸的体积单位为升,所述冰醋酸的质量浓度≥99.5%,所述氢氟酸的质量浓度≥40%,所述硝酸的质量浓度为65~68%。 |
地址 |
610207 四川省成都市双流县川大路2段2号 |