用于湿法清洗设备的混合复合材料晶片托架

摘要

本发明描述了一种托架结构，其用于在衬底通过将托架穿过由上下接近头形成的弯液面而被处理时支撑该衬底。所述托架包括框架，具有尺寸适合于容纳衬底的开口和用于在开口内支撑衬底的多个支撑销，所述开口略大于衬底，使得衬底与开口之间存在间隙。所述框架包括复合材料芯、顶片、底片、顶片与芯之间的芳族聚酰胺结构层和底片与芯之间的第二芳族聚酰胺结构层。所述顶片和底片由高分子材料形成。还描述了一种制造方法。

主权项

一种托架，其用于在衬底通过将该托架穿过由至少一个接近头形成的弯液面而被处理时支撑该衬底，该托架包括：框架，具有尺寸适合于容纳衬底的开口和用于在该开口内支撑该衬底的多个支撑销，所述开口略大于该衬底，使得该衬底与该开口之间存在间隙；所述框架包括复合材料芯、顶片、底片、该顶片与该复合材料芯之间的芳族聚酰胺结构层以及该底片与该复合材料芯之间的第二芳族聚酰胺结构层，其中，所述顶片和所述底片包括机械和化学上稳定或惰性的高分子材料。