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发明名称 APPARATUS FOR DETECTING DEFECT ON SUBSTRATE SURFACE USING SCATTERED BEAM AND METHOD FOR DETECTING THEREOF
摘要
申请公布号 KR20110096781(A) 申请公布日期 2011.08.31
申请号 KR20100016219 申请日期 2010.02.23
申请人 NANO ELECTRO OPTICS CO., LTD. 发明人 KIM, JONG SOO;WEE, HAE SUNG;JO, JAE HEUNG;LEE, CHANG WHAN
分类号 H01L21/66;H01L21/027 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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