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发明名称 METHOD FOR FORMING PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20110096990(A) 申请公布日期 2011.08.31
申请号 KR20100016595 申请日期 2010.02.24
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 LEE, EUN AH
分类号 H01L21/308;H01L33/22;H01L33/38 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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