低污染光学布置

摘要

一种具有多个光学元件(8，8′)的光学布置，所述光学元件(8，8′)能够传输光束(10)，并且提供了至少一部分壳体(9，9′)，在从所述光学元件(8，8′)发出的光束的方向上，或者入射于所述光学元件上的光束的方向上，至少一部分壳体(9，9′)从光学元件(8，8′)的表面延伸，并且其形状适配于所述光束的形状，所述至少一部分壳体(9，9′)至少部分被测量结构(11)所围绕，测量结构与至少一部分壳体(9，9′)机械解耦，并且所述测量结构(11)具有至少一传感器(12，17)。

主权项

一种EUV投射曝光系统(1)，包括光学布置，其中所述光学布置包括：多个光学元件(8，8′，80，M1，M2，M3，M4)，每个所述光学元件具有包括至少一反射面的本体，从而传输将物(OF)投射至像(IF)的光束(10)，第一部分壳体(9，9′，90)，从来自所述多个光学元件(8，8′，80，M1，M2，M3，M4)的第一光学元件(8，M1)的至少一反射面，在所述第一光学元件(8，M1)的反射面上入射和/或反射的光束(10)的方向上延伸，其中所述第一部分壳体(8，M1)的形状适配于所述光束(10)的形状并且适配于所述第一光学元件(8，M1)的形状，使得所述第一部分壳体(9，9′，90)在对应的方向或者多个方向围绕所述光束(10)，并且所述第一部分壳体(9，9′，90)围绕所述第一光学元件(8，M1)的所述至少一反射面，所述第一部分壳体(9，9′，90)和所述第一光学元件(8，M1)的本体之间具有间隙(100，G)，其中所述第一部分壳体(9，9′，90)被构造以便通过第一安装件至少完全支撑所述第一光学元件(8，M1)。