发明名称 |
一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件及其制备方法 |
摘要 |
一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件及其制备方法,它涉及湿度敏感传感器元件及其制备方法。本发明是要解决现有的锂霞石湿度传感器响应慢、制备工艺难度大的技术问题。本发明的一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件由氧化铝陶瓷基体、涂覆在氧化铝陶瓷基体上的锂霞石涂层和焊接在氧化铝陶瓷基体上的电极组成,其中锂霞石涂层的厚度为0.001mm~0.1mm;制备方法:将锂霞石颗粒和锂霞石溶胶粘结剂研磨后得到的浆料涂覆在氧化铝陶瓷基体上,烧结后再经老化,得到厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件。该元件化学性质稳定,响应时间短,制备工艺简单,可应用于高温恶劣坏境中的湿度检测。 |
申请公布号 |
CN102169100A |
申请公布日期 |
2011.08.31 |
申请号 |
CN201110005641.2 |
申请日期 |
2011.01.12 |
申请人 |
哈尔滨海格通江敏感技术有限责任公司 |
发明人 |
李劲松;王黎东;崔烨;才春利 |
分类号 |
G01N27/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/02(2006.01)I |
代理机构 |
哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 |
代理人 |
韩末洙 |
主权项 |
一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件,其特征在于厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件由氧化铝陶瓷基体、涂覆在氧化铝陶瓷基体上的锂霞石涂层和焊接在氧化铝陶瓷基体上的电极组成,其中锂霞石涂层的厚度为0.001mm~0.1mm。 |
地址 |
150078 黑龙江省哈尔滨市开发区迎宾路集中区天平路4号楼 |