一种可减少石英玻璃坩埚内表面因电极沉积物产生的质量缺陷的方法

摘要

一种可减少石英玻璃坩埚内表面因电极沉积物产生的质量缺陷的方法，先统计出生产电弧坩埚时电极尖端无二氧化硅沉积物区域的轴向长度及电极对应的分段消耗长度平均值，在每根电极下端套上石英护套并使电极尖端裸露在外，进行坩埚生产，在生产过程中分段提升石英护套下端的高度，使分段提升量等于对应的该段电极消耗长度统计平均值的1~1.3倍，并定期清理掉石英护套表面的二氧化硅沉积物直至石英护套无法使用时进行更换。由于采用石英护套，使熔制过程中二氧化硅蒸汽与电极上套有石英护套部位无法接触，利用二氧化硅沉积物与石英护套同质，沉积物可牢固附着，从而减少乃至消除“白点”和附着物等缺陷，提高坩埚的质量与合格率，进而减少拉晶缺陷，提高拉晶率。

主权项

一种可减少石英玻璃坩埚内表面因电极沉积物产生的质量缺陷的方法，其特征是：先统计出生产电弧坩埚时电极尖端无二氧化硅沉积物区域的轴向长度及电极对应的分段消耗长度平均值，在每根电极下端套上石英护套并使电极尖端裸露在外，使电极尖端裸露的长度等于电极尖端无二氧化硅沉积物区域的轴向长度统计平均值的0.6 ~1.2倍，进行坩埚生产，在生产过程中分段提升石英护套下端的高度，使分段提升量等于对应的该段电极消耗长度统计平均值的1~1.3倍，使电极尖端始终裸露在外，并定期清理掉石英护套表面的二氧化硅沉积物直至石英护套无法使用时进行更换。