| 发明名称 | LAVACOAT型的预清洁与预热 | ||
| 摘要 | 本文描述的实施例提供在部件的表面的改变之前使用电磁束进行表面制备的方法，该方法有利地改善那些位置中的最终纹理的质量且相应地减少粒子污染。在实施例中，提供一种对用于半导体处理腔室中的部件的表面提供纹理的方法。该方法包含：在部件的该表面上界定多个区域、将电磁束移动至该多个区域中的第一区域、横跨该第一区域的表面扫描该电磁束以加热该第一区域的该表面，及横跨该第一区域的该经加热的表面扫描该电磁束以形成特征结构。 | ||
| 申请公布号 | CN102171786A | 申请公布日期 | 2011.08.31 |
| 申请号 | CN200980139666.2 | 申请日期 | 2009.09.30 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 布里恩·T·韦斯特;温德尔·小博伊德;萨曼莎·潭 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种对用于半导体处理腔室中的部件的表面提供纹理的方法，包含以下步骤：在所述部件的所述表面上界定多个区域；将电磁束移动至所述多个区域中的第一区域；横跨所述第一区域的表面扫描所述电磁束，以加热所述第一区域的所述表面；及横跨所述第一区域的所述经加热的表面扫描所述电磁束，以形成特征结构。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||