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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20110096843(A) 申请公布日期 2011.08.31
申请号 KR20100016339 申请日期 2010.02.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, YONG SOON;KIM, HONG GUN;YI, HA YOUNG;CHOI, GIL HEYUN;HONG, EUN KEE
分类号 H01L21/76;H01L21/324 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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