| 发明名称 |
METHOD FOR FORMATION OF TITANIUM NITRIDE FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1485516(B1) |
申请公布日期 |
2011.08.24 |
| 申请号 |
EP20020807011 |
申请日期 |
2002.02.27 |
| 申请人 |
PHILIPPINE COUNCIL FOR ADVANCED SC. AND TECHN. RES. AND DEV.;UNIVERSITY OF THE PHILIPPINES DILIMAN |
发明人 |
RAMOS, HENRY, J. |
| 分类号 |
B23B27/14;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/32;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
B23B27/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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