硬被膜覆盖部件

摘要

本发明涉及一种硬被膜覆盖部件，该硬被膜覆盖部件在基体上具有包括最下层、中间叠层部分和最上层的硬被膜，上述中间叠层部分是由组成不同的A层和B层交替叠层的部分，上述A层和B层是由选自具有用式：AlWCrXTiYSiZ(W、X、Y和Z分别表示Al、Cr、Ti和Si的原子百分比，W+X+Y+Z＝100)表示的组成的金属成分的氮化物、硼化物、碳化物和氧化物及其组合的至少一种制成的，且上述A层满足70≤W+X＜100，B层满足30≤Y＜100，上述最上层由选自Ti或Ti和Si的氮化物、碳化物、硫化物和硼化物及其组合的至少一种来制得，或者由选自Cr或Cr和Si的氮化物、碳化物、硫化物和硼化物及其组合的至少一种来制得。

主权项

一种硬被膜覆盖部件，其特征在于，该部件是在基体上具有硬被膜的部件，所述硬被膜包括最下层、中间叠层部分和最上层，上述中间叠层部分是具有不同组成的A层和B层交替叠层的部分，当W、X、Y和Z分别表示Al、Cr、Ti和Si的原子百分比，且W+X+Y+Z＝100时，上述A层和B层含有选自具有用式：AlWCrXTiYSiZ表示的组成的金属成分的氮化物、硼化物、碳化物和氧化物及这些组合中的至少一种，且上述A层满足70≤W+X<100，B层满足30≤Y<100，上述最上层包含选自Ti或Ti和Si的氮化物、碳化物、硫化物和硼化物及这些组合中的至少一种，上述式AlWCrXTiYSiZ中Z＞0，并且，上述A层和B层的厚度分别为2~50nm。