晶片角度测试定位装置

摘要

本实用新型涉及对晶片角度测试的技术领域，具体涉及一种在制造晶片过程中对晶片角度检测、测量的晶片角度测试定位装置，包括上端面设有晶片托台的工作台基座，工作台基座的一端设有测试台，以及位于工作台基座一侧的X光发生器以及另一侧用于接收X光的计数管，所述测试台的一侧设有真空吸附装置，其真空吸附装置包括设置在测试台一侧的至少三个真空吸管，所述真空吸管的真空吸头在同一个平面上。本实用新型的有益效果是：晶片的角度检测稳定、大大降低了测量器具的误差，为晶片切割提供准确可信性角度分析数据；同时材质耐磨性强，大大延长了测试台的维护周期。

主权项

晶片角度测试定位装置，包括上端面设有晶片托台的工作台基座，工作台基座的一端设有测试台，以及位于工作台基座一侧的X光发生器以及另一侧用于接收X光的计数管，其特征在于：所述测试台的一侧设有真空吸附装置，其真空吸附装置包括设置在测试台一侧的至少三个真空吸管，所述真空吸管的真空吸头在同一个平面上。