发明名称 纳米压印用塑模
摘要 一种纳米压印用塑模,其含有液晶性聚硅烷,具有通过该液晶性聚硅烷取向而形成近晶相从而形成的凹凸面。
申请公布号 CN102164733A 申请公布日期 2011.08.24
申请号 CN200980137974.1 申请日期 2009.09.24
申请人 国立大学法人东京工业大学;吉坤日矿日石能源株式会社 发明人 渡边顺次;西村凉;关隆史;平井知生
分类号 B29C59/02(2006.01)I;B29C33/40(2006.01)I;C08G77/60(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;B29K83/00(2006.01)I 主分类号 B29C59/02(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种纳米压印用塑模,含有液晶性聚硅烷,具有通过该液晶性聚硅烷取向而形成近晶相从而形成的凹凸面。
地址 日本东京都
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