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经营范围
发明名称
LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD.
摘要
申请公布号
NL2006255(A)
申请公布日期
2011.08.24
申请号
NL20112006255
申请日期
2011.02.18
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
ZWET, ERWIN;JAGER, PIETER;ONVLEE, JOHANNES;FRITZ, ERIK
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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