| 摘要 |
1. Реактор для получения стержней поликристаллического кремния, содержащий неподвижное основание и цилиндрический колпак, разделенные горизонтальным разъемом, в котором через неподвижное основание в сквозные отверстия установлены электроды для подвода электрической мощности от источника силового электропитания, герметичные по отношению к внешней среде, отличающийся тем, что прижимной элемент электрода выполнен в виде фланцевого соединения. ! 2. Реактор по п.1, отличающийся тем, что один из фланцев установлен на выступающей части неподвижного основания с возможностью перемещения, отделенный от основания изолятором. ! 3. Реактор по п.1, отличающийся тем, что один из фланцев установлен на корпусе электрода, а другой фланец установлен на выступающей части неподвижного основания. |
