| 发明名称 | 等离子功率供给装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有多个功率供给单元(16-18)的等离子功率供给装置(10)，这些功率供给单元(16-18)分别包括：a)交变信号产生器(30，31)；b)调制器(40，41)，所述调制器以至少一个调制信号(52，57，60，63，66，69，72，75，76)调制由所述交变信号产生器(30，31)产生的交变信号(50，51)；c)调制信号输入端(44，45)，所述调制信号输入端与所述调制器(40，41)连接；d)调制信号输出端(42，43)，所述调制信号输出端与另一个功率供给单元的至少一个调制输入端(44，45)连接。 | ||
| 申请公布号 | CN102160140A | 申请公布日期 | 2011.08.17 |
| 申请号 | CN200880131189.0 | 申请日期 | 2008.09.20 |
| 申请人 | 许廷格电子两合公司 | 发明人 | P·维德穆特 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H02J1/10(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 曾立 |
| 主权项 | 等离子功率供给装置(10)，具有多个功率供给单元(16‑18)，这些功率供给单元分别包括：a)交变信号产生器(30，31)；b)调制器(40，41)，所述调制器以至少一个调制信号(52，57，60，63，66，69，72，75，76)调制由所述交变信号产生器(30，31)产生的交变信号(50，51)；c)调制信号输入端(44，45)，所述调制信号输入端与所述调制器(40，41)连接；d)调制信号输出端(42，43)，所述调制信号输出端与另一个功率供给单元的至少一个调制输入端(44，45)连接。 | ||
| 地址 | 德国弗赖堡 | ||