| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01241861(A) |
申请公布日期 |
1989.09.26 |
| 申请号 |
JP19880068185 |
申请日期 |
1988.03.24 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MAEDA SATORU;SAWADA SHIZUO |
| 分类号 |
H01L23/522;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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