发明名称 用于处理面板的装置和方法
摘要 本发明公开了一种面板处理系统,包括:用于从盒装载面板到生产流水线的装载机;缩短了长度的独立型面板生产流水线,包括:用于通过将剥离剂应用到由装载机传送的面板上来进行剥离工序的剥离单元,用于喷洒去离子水到已通过剥离工序的面板的表面上、并吸取面板上残留物的吸取单元,用于清洁已通过吸取单元的面板的清洁单元,和用于对清洁后的面板进行干燥的干燥单元;以及用于从面板生产流水线卸载面板的卸载机,其中吸取单元包括一对将去离子水喷洒到面板上的喷嘴,和设置在所述喷嘴之间用于从面板吸取流体的吸取模块。
申请公布号 CN1690866B 申请公布日期 2011.08.17
申请号 CN200510066251.0 申请日期 2005.04.25
申请人 显示器生产服务株式会社 发明人 朴庸硕
分类号 G03F7/42(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;B65G49/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I 主分类号 G03F7/42(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 罗正云;宋志强
主权项 一种面板处理系统,包括:用于将面板从盒装载到生产流水线的装载机;缩短了长度的独立型面板生产流水线,包括:用于通过将剥离剂应用到由装载机传送的面板上来进行剥离工序的剥离单元;用于喷洒去离子水到已通过剥离工序的面板的表面上、并吸取面板上残留物的吸取单元,其中吸取单元包括一对将去离子水喷洒到面板上的喷嘴,和设置在所述喷嘴之间用于从面板吸取流体的吸取模块;用于清洁已通过吸取单元的面板的清洁单元;和用于对清洁后的面板进行干燥的干燥单元;和用于从面板生产流水线卸载面板的卸载机。
地址 韩国京畿道