发明名称
摘要
申请公布号 JP4750710(B2) 申请公布日期 2011.08.17
申请号 JP20060536620 申请日期 2004.09.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L27/04;H03F1/02;H03F1/30;H03F3/195;H03F3/60 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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