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经营范围
发明名称
EINSEITIGE WERKSTÜCKBEARBEITUNG
摘要
申请公布号
AT520147(T)
申请公布日期
2011.08.15
申请号
AT20070757232T
申请日期
2007.02.20
申请人
SEMITOOL, INC.
发明人
RYE, JASON;WOODRUFF, DANIEL;HANSON, KYLE
分类号
H01L21/00;H01L21/02
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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