发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES FERROELEKTRISCHEN DÜNNFILMS
摘要
申请公布号 AT518231(T) 申请公布日期 2011.08.15
申请号 AT20040722986T 申请日期 2004.03.24
申请人 DAIKIN INDUSTRIES, LIMITED 发明人 ARAKI, TAKAYUKI;KODANI, TETSUHIRO
分类号 H01B19/00;C08F14/22;C23C14/12;H01B1/12;H01B3/00;H01B3/44;H01B17/56 主分类号 H01B19/00
代理机构 代理人
主权项
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