| 主权项 |
一种面精度高的反射镜，包含：一基材；一叠置于该基材的增反射膜，自该基材向远离该基材的一叠置方向具有一(HL)n之膜层结构，H及L分别是一高折射率介电层及一低折射率介电层，n≧3且为整数；及一夹置于该基材与该增反射膜之间的金属反射膜。依据申请专利范围第1项所述之面精度高的反射镜，其中，该金属反射膜于一660±15 nm之第一波段内及一785±15 nm之第二波段内的平均消光系数是至少小于5.0。依据申请专利范围第2项所述之面精度高的反射镜，其中，该金属反射膜是选自Cu或Ag。依据申请专利范围第3项所述之面精度高的反射镜，其中，该金属反射膜是Cu且厚度是介于80 nm~120 nm之间。依据申请专利范围第1项所述之面精度高的反射镜，其中，该增反射膜之H及L的物理厚度分别为0.25λ0，且λ0是介于400 nm~700 nm波段间的一中心波长；H是选自下列所构成之群组：Nb2O5、TiO2及Ta2O5；L是SiO2；3≦n≦5。依据申请专利范围第5项所述之面精度高的反射镜，其中，λ0等于550 nm，且n=3。依据申请专利范围第5项所述之面精度高的反射镜，其中，λ0等于550 nm，且n=5。依据申请专利范围第1项所述之面精度高的反射镜，更包含一夹置于该基材与该金属反射膜之间的第一附着膜。依据申请专利范围第8项所述之面精度高的反射镜，其中，该第一附着膜是选自下列所构成之群组：Ni、Cr、Ni-Cr合金，及Al2O3。依据申请专利范围第9项所述之面精度高的反射镜，其中，该第一附着膜是Al2O3，且厚度是不可大于150 nm。依据申请专利范围第1项所述之面精度高的反射镜，更包含一夹置于该金属反射膜与该增反射膜之间的第二附着膜。依据申请专利范围第11项所述之面精度高的反射镜，其中，该第二附着膜是选自下列所构成之群组：Ni、Cr、Ni-Cr合金，及Al2O3。依据申请专利范围第12项所述之面精度高的反射镜，其中，该第二附着膜是Al2O3，且厚度是不可大于150 nm。 |
